環状オレフィンポリマー基板表面への172nm真空紫外光照射が及ぼすZnO薄膜配向成長への影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	環状オレフィンポリマー基板表面への172nm真空紫外光照射が及ぼすZnO薄膜配向成長への影響
英文:	Effect of 172 nm vacuum-ultraviolet light irradiation to the cyclic olefin polymer substrate surface on orientated growth of ZnO thin films

著者

和文:	大賀友瑛, 大島淳史, 金子奈帆, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Tomoaki Oga, Atsushi Oshima, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年8月26日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第81回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 81st JSAP Autumn Meeting 2020

開催地

和文:	京都市
英文:	Kyoto

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