室温エキシマレーザー照射によるMgAl2O4単結晶基板上でのGa2O3薄膜の固相エピタキシー

論文・著書情報

タイトル

和文:	室温エキシマレーザー照射によるMgAl2O4単結晶基板上でのGa2O3薄膜の固相エピタキシー
英文:	Solid-phase epitaxy of Ga2O3 thin films on MgAl2O4 substrates by excimer laser irradiation

著者

和文:	松島拓海, 渡邉一樹, 大賀友瑛, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Takumi Matsushima, Kazuki Watanabe, Tomoaki Oga, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年8月26日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第81回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 81st JSAP Autumn Meeting 2020

開催地

和文:	京都市
英文:	Kyoto

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