Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source

著者

和文:	本田能之, 柳田達哉, 白石裕, 森田昌幸, 安藤正彦, 戸室啓明, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Yoshiyuki Honda, Tatsuya Yanagida, Yutaka Shiraishi, Masayuki Morita, Masahiko Andou, Hiroaki Tomuro, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Express

巻, 号, ページ

Volume 13 Number 11

出版年月

2020年10月15日

出版者

和文:
英文:	IOP Publishing

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク

DOI