機械学習を用いたリソグラフィホットスポット検出手法と評価に関して

論文・著書情報

タイトル

和文:	機械学習を用いたリソグラフィホットスポット検出手法と評価に関して
英文:	Machine Learning Based Lithography Hotspot Detection Method and Evaluation

著者

和文:	高橋秀和, 佐藤真平, 高橋篤司.
英文:	Hidekazu Takahashi, Shimpei Sato, Atsushi Takahashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2019-106)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2019-106)

巻, 号, ページ

Vol. 119 No. 443 pp. 71-76

出版年月

2020年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

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