A Fast Look Up Table Based Lithography Simulator with SOCS Model for OPC Algorithm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast Look Up Table Based Lithography Simulator with SOCS Model for OPC Algorithm

著者

和文:	SHAMEEM Tahsin Binte, 高橋篤司, 田邊容由, 小平行秀, 児玉親亮.
英文:	Tahsin Binte Shameem, Atsushi Takahashi, Hiroyoshi Tanabe, Yukihide Kohira, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	DAシンポジウム2020 論文集
英文:	Proc. DA Symposium 2020, IPSJ Symposium Series

巻, 号, ページ

pp. 142-149

出版年月

2020年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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