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論文・著書情報


タイトル
和文:窒化物圧電体膜の微構造評価 
英文: 
著者
和文: 安岡慎之介, 清水荘雄, 舟窪浩.  
英文: Shinnosuke Yasuoka, Takao Shimizu, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 微細構造解析プラットフォーム 利用報告書 実施機関 国立大学法人 東北大学 
英文: 
巻, 号, ページ 令和元年度        A-19-TU-0048
出版年月 2020年9月 
出版者
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会議名称
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開催地
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