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論文・著書情報


タイトル
和文:HfO2およびZrO2基強誘電体膜の厚膜化と室温合成 
英文: 
著者
和文: 三村和仙, 志村礼司郎, 舟窪浩, 清水荘雄.  
英文: Takanori Mimura, Reijiro Shimura, HIROSHI FUNAKUBO, Takao Shimizu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:超音波TECHNO 
英文: 
巻, 号, ページ 2020年9-10号        41-45
出版年月 2020年9月 
出版者
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会議名称
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開催地
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