低電圧で駆動する静電駆動形高速空気圧MEMS バルブの提案

論文・著書情報

タイトル

和文:	低電圧で駆動する静電駆動形高速空気圧MEMS バルブの提案
英文:	Proposal of an electrostatically-driven fast pneumatic MEMS valve with lower driving voltage

著者

和文:	本同和人, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Kazuto Hondo, KAZUHIRO YOSHIDA, Joon-wan KIM.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	山梨講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 200-3 D31

出版年月

2020年11月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	山梨講演会
英文:	Yamanashi District Conference

開催地

和文:	山梨県
英文:

公式リンク