Wet Etching for Isolation of N-polar GaN HEMT Structure by Electrodeless Photo-Assisted Electrochemical Reaction

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wet Etching for Isolation of N-polar GaN HEMT Structure by Electrodeless Photo-Assisted Electrochemical Reaction

著者

和文:	青田智也, 早坂明泰, 眞壁勇夫, 吉田成輝, 後藤高寛, 宮本恭幸.
英文:	Tomoya Aota, Akihiro Hayasaka, isao makabe, Shigeki Yoshida, Takahiro Gotow, YASUYUKI MIYAMOTO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2020年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020)
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開催地

和文:
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