Surface Treatment of Polydimethylsiloxane and Glass Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Microfluidic Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Treatment of Polydimethylsiloxane and Glass Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Microfluidic Devices

著者

和文:	遠西美重, 松谷晃宏.
英文:	Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Materials

巻, 号, ページ

Vol. 33 No. 2 pp. 569-574

出版年月

2021年2月

出版者

和文:
英文:	MYU.K.K

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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