AlScNチャネルトランジスタのコンタクト抵抗低減に関する研究 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	AlScNチャネルトランジスタのコンタクト抵抗低減に関する研究
英文:	A Study on Low Resistance Ohmic Contact for AlScN Channel MOSFET

著者

和文:	片岡淳司.
英文:	Junji Kataoka.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

甲第11927号

学位授与日

2021/03/26

審査員

ファイル

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