Surface Fabrication of Block Copolymer-Templated Polyimide Films by Reactive Ion Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Fabrication of Block Copolymer-Templated Polyimide Films by Reactive Ion Etching

著者

和文:	駒村貴裕, 早川晃鏡.
英文:	Takahiro Komamura, Teruaki Hayakawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Photopolymer Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 30 Issue 2 Page 173-176

出版年月

2017年6月26日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI