Surface Fabrication of Block Copolymer-Templated Polyimide Films by Reactive Ion Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Fabrication of Block Copolymer-Templated Polyimide Films by Reactive Ion Etching

著者

和文:	駒村貴裕, 早川晃鏡.
英文:	Takahiro Komamura, Teruaki Hayakawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年6月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	12. The 34th International Conference of Photopolymer Science and Technology

開催地

和文:	千葉
英文:	Chiba