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論文・著書情報
タイトル
和文:
換算電界から求めた電子エネルギー分布関数による大気圧非平衡N2プラズマの連続スペクトル解析
英文:
Emission spectrum analysis of atmospheric-pressure non-equilibrium N2plasmausing electron energy distribution function calculated by reduced electric field
著者
和文:
城井智弘
,
根津篤
,
赤塚洋
.
英文:
Tomohiro Shiroi
,
Atsushi Nezu
,
Hiroshi Akatsuka
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
令和3年電気学会全国大会講演論文集
英文:
Proceedings of The 2021 Annual Meeting IEE of Japan
巻, 号, ページ
p. 66
出版年月
2021年3月9日
出版者
和文:
一般社団法人 電気学会
英文:
The Institute of Electrical Engineers of Japan
会議名称
和文:
令和3年電気学会全国大会
英文:
The 2021 Annual Meeting IEE of Japan
開催地
和文:
英文:
公式リンク
https://gakkai-web.net/iee/program/2021/data/html/general/general1.html#SWEB10-A3
アブストラクト
近年、大気圧非平衡プラズマ源が開発され、実用上の応用が可能になるまで改良が進んできた。このプラズマは電子温度が高くガス温度が低いため、有機材料など高温に弱い低融点のものに照射することができる。幅広い分野への応用が期待されている一方で、非平衡であるため重要なプラズマパラメータである「電子温度」計測の報告例が少ない。 そこで、本研究では発光分光計測によって大気圧N2非平衡プラズマのスペクトル計測を行い、電子・原子の制動放射現象による連続スペクトルを換算電界から求めた電子エネルギー分布関数を用いて解析することで電子温度を算出し、検討を行う。
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