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論文・著書情報


タイトル
和文:ドライエッチングにより作製したメンブレン構造のNbO薄膜の顕微分光透過率測定とEDX分析 
英文: 
著者
和文: 佐藤美那, 松谷晃宏, 津久井遼, 木野勝, 山本広大, 栗田光樹夫, 長田 哲也.  
英文: Mina Sato, Akihiro Matsutani, 津久井遼, 木野勝, 山本広大, 栗田光樹夫, 長田 哲也.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2021年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第68回 応用物理学会 春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
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