Wet etching for isolation of N-polar GaN HEMT structure by electrodeless photo-assisted electrochemical reaction

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wet etching for isolation of N-polar GaN HEMT structure by electrodeless photo-assisted electrochemical reaction

著者

和文:	青田智也, 早坂明泰, 眞壁勇夫, 吉田成輝, 後藤高寛, 宮本恭幸.
英文:	T. Aota, A. Hayasaka, I. Makabe, S. Yoshida, T. Gotow, Y. Miyamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

60 SCCF06

出版年月

2021年3月8日

出版者

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会議名称

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開催地

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