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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers 
著者
和文: Chang Tso-Fu Mark, 中島 英亮, 陳 君怡, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, Hiroshi Toshiyoshi, 曽根 正人.  
英文: Tso-Fu Mark Chang, Hideaki Nakajima, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Advances in Microelectronics: Reviews 
巻, 号, ページ Vol. 3       
出版年月 2021年4月1日 
出版者
和文: 
英文:IFSA PUBLISHING, S.L. 
会議名称
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開催地
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