吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響
英文:	The effect of a target polymer film's surface conductivity on the attractive force generated by a bipolar electrostatic chuck

著者

和文:	ジェレミーガブリエル, 田岡祐樹, 齊藤滋規.
英文:	Jeremy GAVRIEL, Yuki TAOKA, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2021年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月16日

出版者

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会議名称

和文:	2021年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

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