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論文・著書情報


タイトル
和文:Si-IGBT作製プロセスにおける水素熱処理の影響 
英文: 
著者
和文: 門 龍翔, 横川 凌, 沼沢 陽一郎, 筒井 一生, 角嶋 邦之, 小椋 厚志.  
英文: 門 龍翔, 横川 凌, 沼沢 陽一郎, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA, Atsushi Ogura.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2020年9月 
出版者
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会議名称
和文:第81回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
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