Preparation of near-1-μm-thick {100}-oriented epitaxial Y-doped HfO2 ferroelectric films on (100)Si substrates by an RF magnetron sputtering method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of near-1-μm-thick {100}-oriented epitaxial Y-doped HfO2 ferroelectric films on (100)Si substrates by an RF magnetron sputtering method

著者

和文:	志村礼司郎, 三村和仙, 清水荘雄, Yoshitomo Tanaka, Yukari Inoue, 舟窪浩.
英文:	Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Yoshitomo Tanaka, Yukari Inoue, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Ceram. Soc. Jpn

巻, 号, ページ

vol. 128 no. 8 pp. 539-543

出版年月

2020年8月

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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DOI