Effects of deposition conditions on the ferroelectric properties of (Al1-xScx)N thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of deposition conditions on the ferroelectric properties of (Al1-xScx)N thin films

著者

和文:	安岡慎之介, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Yoshiomi Hiranaga, 長康雄, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Yoshiomi Hiranaga, Yasuo Cho, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

vol. 128 pp. 114103-1-11

出版年月

2020年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI