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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering
著者
和文:
片桐 淳生
,
上原 睦雄
,
黒川 満央
,
秋山 賢輔
,
清水 荘雄
,
松島 正明
,
内田 寛
,
木村 好里
,
舟窪 浩
.
英文:
Atsuo Katagiri
,
Mutsuo Uehara
,
Mao Kurokawa
,
Kensuke Akiyama
,
Takao Shimizu
,
Masaaki Matsushima
,
Hiroshi Uchida
,
Yoshisato Kimura
,
Hiroshi Funakubo
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Journal of ELECTRONIC MATERIALS
巻, 号, ページ
vol. 49 no. 12 pp. 7509-7517
出版年月
2020年10月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-020-08510-2
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.