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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering 
著者
和文: 片桐 淳生, 上原 睦雄, 黒川 満央, 秋山 賢輔, 清水 荘雄, 松島 正明, 内田 寛, 木村 好里, 舟窪 浩.  
英文: Atsuo Katagiri, Mutsuo Uehara, Mao Kurokawa, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of ELECTRONIC MATERIALS 
巻, 号, ページ vol. 49    no. 12    pp. 7509-7517
出版年月 2020年10月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1007/s11664-020-08510-2

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