Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering

著者

和文:	片桐淳生, 上原睦雄, 黒川満央, 秋山賢輔, 清水荘雄, 松島正明, 内田寛, 木村好里, 舟窪浩.
英文:	Atsuo Katagiri, Mutsuo Uehara, Mao Kurokawa, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of ELECTRONIC MATERIALS

巻, 号, ページ

vol. 49 no. 12 pp. 7509-7517

出版年月

2020年10月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI