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論文・著書情報


タイトル
和文:二次元スパッタリング法により作製した(Al1-xScx)N 薄膜の強誘電特性 
英文: 
著者
和文: 安岡 慎之介, 清水 荘雄, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 舟窪 浩.  
英文: 安岡慎之介, 清水荘雄, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 舟窪浩.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2020年5月27日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第37回強誘電体会議（FMA 37） 
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開催地
和文: 
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