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論文・著書情報


タイトル
和文:RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW・SAW特性 
英文: 
著者
和文: 吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 舘山明紀, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治.  
英文: 吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, HIROSHI FUNAKUBO, 若林剛, 柴田憲治.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年3月16日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第68回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
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