On the thickness scaling of ferroelectricity in Al0.78Sc0.22N films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	On the thickness scaling of ferroelectricity in Al0.78Sc0.22N films

著者

和文:	TSAI Sung Lin, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, Tien-Kan Chung, Edward Yi Chang, 角嶋邦之.
英文:	Sung-Lin Tsai, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Tien-Kan Chung, Edward Yi Chang, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP) （SSDM特集号）

巻, 号, ページ

Vol. 60 Page SBBA05

出版年月

2021年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI