Self-Aligned-TiSi2 Bottom Contact with APM Cleaning and Post-annealing for Sputtered-MoS2 Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Self-Aligned-TiSi2 Bottom Contact with APM Cleaning and Post-annealing for Sputtered-MoS2 Film

著者

和文:	五十嵐智, Yusuke Mochiduki, 谷川晴紀, 濱田昌也, 松浦賢太朗, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Satoshi Igarashi, Yusuke Mochiduki, Haruki Tanigawa, Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP) （SSDM特集号）

巻, 号, ページ

Vol. 60 Page SBBH04

出版年月

2021年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI