Cl2 plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Cl2 plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

著者

和文:	宮下健司, 吉田克己, 岸幸男, 松倉健人.
英文:	Kenji Miyashita, Katsumi Yoshida, Yukio Kishi, Kento Matsukura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年2月8日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	45th International Conference and Expo on Advanced Ceramics and Composites (ICACC2021 Virtual)

開催地

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