Hall-Effect Mobility Enhancement of Sputtered MoS2 Film by Sulfurization even through Al2O3 Passivation Film Simultaneously Preventing Oxidation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hall-Effect Mobility Enhancement of Sputtered MoS2 Film by Sulfurization even through Al2O3 Passivation Film Simultaneously Preventing Oxidation

著者

和文:	濱田昌也, 松浦賢太朗, 坂本拓朗, 谷川晴紀, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Takuro Sakamoto, Haruki Tanigawa, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)

巻, 号, ページ

Vol. 59 No. 10 Page 105501

出版年月

2020年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI