Thickness Scaling on Ferroelectric Al0.8Sc0.2N Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness Scaling on Ferroelectric Al0.8Sc0.2N Films

著者

和文:	Sunglin Tsai, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Sunglin Tsai, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	International Conference of Solid State Devices and Materials (SSDM) 2020

開催地

和文:
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