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論文・著書情報


タイトル
和文:低電圧で駆動する静電駆動形高速空気圧MEMSバルブの開発 
英文:Development of an electrostatically-driven fast pneumatic MEMS valve 
著者
和文: 本同 和人, 吉田 和弘, 金 俊完.  
英文: Kazuto Hondo, KAZUHIRO YOSHIDA, Joon-wan KIM.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会2021年度年次大会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         p. S117-04
出版年月 2021年8月30日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本機械学会2021年度年次大会 
英文:Mechanical Engineering Congress, 2021 Japan 
開催地
和文:千葉県 
英文: 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsme2021/top
 

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