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タイトル
和文:エッチング装置で生成したアルゴン低気圧誘導結合プラズマの発光分光計測による電子温度・電子密度・電子エネルギー分布関数診断 
英文:Electron temperature, density, and energy distribution function diagnostics of the argon low pressure argon plasma generated by an etching unit based on optical emission spectroscopic measurement 
著者
和文: 山下 雄也, 秋葉 拓也, 岩永 敏秀, 伊達 修一, 山岡 英彦, 赤塚 洋.  
英文: Yuya Yamashita, Takuya Akiba, Toshihide Iwanaga, Shuichi Date, Hidehiko Yamaoka, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第82回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended Abstracts of the 82nd JSAP Autumn Meeting 2021 
巻, 号, ページ         07-002
出版年月 2021年8月26日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第82回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2021a/subject/10a-S301-2/tables?cryptoId=
 
アブストラクト エッチング装置で生成したアルゴン低気圧誘導結合プラズマの電子温度Te，電子密度Neおよび電子エネルギー分布関数(EEDF)を，発光分光計測により診断した．診断誤差を低減するため，励起準位数密度分布に対するTe，Ne, EEDFの依存性を分析し，この結果に基づいて診断に用いる励起準位を選定した．上準位4p[1/2]1，4p’[3/2]1，4p[1/2]0，4p’[1/2]0の発光線に基づいて算出した励起準位数密度分布を，衝突輻射モデルから求めた理論値とフィッテングして診断を行った．

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