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論文・著書情報


タイトル
和文:Ar・N2混合大気圧非平衡プラズマにおける発光分光法による電子温度・電子密度の計測 
英文:Measurement of Electron Temperature and Electron Density by Emission Spectroscopy in Ar&N2 Mixed Atmospheric Pressure Non-Equilibrium Plasma 
著者
和文: 石塚 良, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Ryo Ishizuka, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第82回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 
英文:ExtendednAbstracts of the 82nd JSAP Autumn Meeting 2021 
巻, 号, ページ         07-003
出版年月 2021年8月26日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第82回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2021a/subject/10a-S301-3/tables
 
アブストラクト 大気圧非平衡プラズマは、現在幅広い応用が期待されている一方で、ラジカル密度のシミュレーションおよび制御のために不可欠である「電子温度」と「電子密度」の計測に関して、報告例が少ない。特に産業応用を見据え、反応性気体を混合したプラズマに関しての計測が望まれている。そこで本研究では発光分光計測によって、Ar・N2混合大気圧非平衡プラズマの電子温度・電子密度の計測を試みる。

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