A Fast LUT Based Point Intensity Computation for OPC Algorithm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast LUT Based Point Intensity Computation for OPC Algorithm

著者

和文:	SHAMEEM Tahsin Binte, 佐藤真平, 高橋篤司, 田邊容由, 小平行秀, 児玉親亮.
英文:	Tahsin Shameem, Shimpei Sato, Atsushi Takahashi, Hiroyoshi Tanabe, Yukihide Kohira, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. the 23rd Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information technologies (SASIMI 2021)

巻, 号, ページ

pp. 92-97

出版年月

2021年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク