Micro-Mechanical Property of Single Crystal Gold for Applications in Microelectronics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro-Mechanical Property of Single Crystal Gold for Applications in Microelectronics

著者

和文:	藤田一矢, 鈴木康介, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	TACT2021 International Thin Films Conference

巻, 号, ページ

出版年月

2021年11月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	TACT2021 International Thin Films Conference

開催地

和文:
英文: