プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向

赤塚 洋

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向
英文:

著者

和文:	赤塚洋.
英文:	HIROSHI AKATSUKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第32回プラズマエレクトロニクス講習会プラズマプロセスの基礎と先端応用技術
英文:

巻, 号, ページ

pp. 19-38

出版年月

2021年11月12日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:

会議名称

和文:	第32回プラズマエレクトロニクス講習会プラズマプロセスの基礎と先端応用技術
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク

https://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/kousyu2021/R03_32nd_PE-lecture.pdf

アブストラクト

プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュアシングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さらに「素過程に基づく分光データ解釈」について説明する。最後に，大気圧非平衡プラズマの計測を目指した最近の研究を紹介する。

Home

各種検索

サポート

T2R2について

関連リンク

論文・著書情報