Impact of deposition temperature on crystal structure and ferroelectric properties of (Al1-xScx)N films prepared by sputtering method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Impact of deposition temperature on crystal structure and ferroelectric properties of (Al1-xScx)N films prepared by sputtering method

著者

和文:	安岡慎之介, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Phys. Status Solidi A 2021

巻, 号, ページ

pp. 2100302-1-6

出版年月

2021年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI