Thickness dependence of phase stability in epitaxial (HfxZr1-x)O2 films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness dependence of phase stability in epitaxial (HfxZr1-x)O2 films

著者

和文:	三村和仙, 清水荘雄, 勝矢良雄, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Yoshio Katsuya, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Physical review materials

巻, 号, ページ

Vol. 5 pp. 114407

出版年月

2021年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI