Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Microfabrication of Si by KOH Etchant Using Etching Mask Amorphized by Ar Ion Beam 
著者
和文: 佐藤 美那, 遠西美重, 松谷晃宏.  
英文: Mina Sato, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Sensors and Materials 
巻, 号, ページ Vol. 34    No. 1   
出版年月 2022年1月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.