Control of Ferroelectric Property in (Al1-xScx)N Films Prepared by Sputtering Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of Ferroelectric Property in (Al1-xScx)N Films Prepared by Sputtering Method

著者

和文:	舟窪浩, 安岡慎之介, 水谷涼一, 白石貴久, 舘山明紀, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Yoshiomi Hiranaga, 長康雄.
英文:	Hiroshi Funakubo, Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Takahisa Shiraishi, Akinori Tateyama, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Yoshiomi Hiranaga, Yasuo Cho.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年11月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2021 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston, MA