Evaluation of BAW and SAW Properties of (K,Na)NbO3 Thin Films Deposited by RF Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of BAW and SAW Properties of (K,Na)NbO3 Thin Films Deposited by RF Sputtering

著者

和文:	Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, 伊東良晴, 舘山明紀, 舟窪浩, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji shibata.
英文:	Kazuma Yoshizawa, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Funakubo, Tsuyoshi Wakabayashi, Kenji shibata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月11日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	IEEE IUS 2021

開催地

和文:
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