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論文・著書情報


タイトル
和文:ポリイミドシート上へスパッタ成膜したCr/Ge電極の固体ソースH₂Oプラズマを用いた前処理による低抵抗化 
英文: 
著者
和文: 遠西 美重, 佐藤美那, 松下祥子, 松谷晃宏.  
英文: Mie Tohnishi, Mina Sato, Sachiko Matsushita, Akihiro Matsutani.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2022年3月22日 
出版者
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会議名称
和文:第69回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
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