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論文・著書情報


タイトル
和文:Ar＋ビーム照射によるSiアモルファスマスクを利用したKOHエッチングによる単一細胞分離プレートとマイクロ流路の作製 
英文: 
著者
和文: 佐藤美那, 遠西美重, 松谷晃宏.  
英文: Mina Sato, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2022年3月 
出版者
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会議名称
和文:第69回 応用物理学会 春季学術講演会 
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開催地
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