酸素プラズマ照射によるポジ型電子線レジストSMLの増感効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素プラズマ照射によるポジ型電子線レジストSMLの増感効果
英文:	Evaluation of the sensitizing effect in positive type electron beam resist SML by oxygen plasma irradiation

著者

和文:	藤本美穂, 松谷晃宏.
英文:	Miho Fujimoto, Akihiro Matsutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月

出版者

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会議名称

和文:	2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 69th JSAP Spring Meeting 2022

開催地

和文:	神奈川県相模原市
英文:	Sagamihara, Kanagawa prefecture