エキシマレーザーアニーリングによる不純物ドープGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の固相結晶化および特性評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	エキシマレーザーアニーリングによる不純物ドープGa₂O₃薄膜の固相結晶化および特性評価
英文:

著者

和文:	渡邉一樹, 甲斐稜也, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Kazuki Watanabe, Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月1日

出版者

和文:	日本セラミックス協会
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会第34回秋季シンポジウム
英文:

開催地

和文:	山梨県甲府市
英文:

公式リンク

https://fall34.ceramic.or.jp

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