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論文・著書情報


タイトル
和文:高信頼性・大容量SRAMの微細化に向けた先端プロセス技術 
英文:Advanced Process Technologies for High-Reliability and High-Capacity SRAM Scaling 
著者
和文: 石丸一成.  
英文: Kazunari Ishimaru.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第12273号 
学位授与日 2022/06/30 
審査員  
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