UV-LIGAによる電界共役流体マイクロ液圧源の開発とその応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	UV-LIGAによる電界共役流体マイクロ液圧源の開発とその応用
英文:	ECF micro hydraulic pressure source by UV-LIGA and its application

著者

和文:	韓冬, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Dong Han, KAZUHIRO YOSHIDA, Joon-wan KIM.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	機能性流体テクノロジーの次世代FPSへの展開に関する研究委員会研究成果報告書
英文:

巻, 号, ページ

pp. 11-14

出版年月

2022年5月20日

出版者

和文:	一般社団法人日本フルードパワーシステム学会
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会議名称

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開催地

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