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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Effects of Cross-Sectional Geometry in Bending Test of Gold Micro-Cantilever toward Design of Movable MEMS Components
著者
和文:
保里 亮平
,
藤田 一矢
,
陳 君怡
,
栗岡 智行
,
Chang Tso-Fu Mark
,
CHAKRABORTY P
,
町田 克之
,
伊藤 浩之
,
三宅 美博
,
曽根 正人
.
英文:
Ryohei Hori
,
Kazuya Fujita
,
Chun Yi Chen
,
Tomoyuki Kurioka
,
Tso-Fu Mark Chang
,
Parthojit Chakraborty
,
Katsuyuki Machida
,
Hiroyuki Ito
,
Yoshihiro Miyake
,
Masato Sone
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2022年9月14日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES)
開催地
和文:
英文:
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