PLD法による(111)配向エピタキシャル(Hf,Ce)O2強誘電体膜の作製とその特性評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	PLD法による(111)配向エピタキシャル(Hf,Ce)O2強誘電体膜の作製とその特性評価
英文:

著者

和文:	平井浩司, 白石貴久, 山岡和希子, 鶴丸理沙子, 井上ゆか梨, 舟窪浩.
英文:	Koji Hirai, Takahisa Shiraishi, 山岡和希子, 鶴丸理沙子, 井上ゆか梨, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第69回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	相模原市
英文:

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.