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論文・著書情報


タイトル
和文:薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上 
英文: 
著者
和文: 安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, 安井伸太郎, 江原祥隆, 西田謙, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 今井康彦, 坂田修身, 舟窪浩.  
英文: Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Reika Ota, Takahisa Shiraishi, Shimizu Takao, Shintaro Yasui, Yoshitaka Ehara, ken nishida, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 今井康彦, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年3月22日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第69回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:相模原市 
英文: 

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