Cerium oxide capping on Y-doped HfO2 films for ferroelectric phase stabilization with endurance improvement

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Cerium oxide capping on Y-doped HfO2 films for ferroelectric phase stabilization with endurance improvement

著者

和文:	水谷一翔, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, Edward Y. Chang, 角嶋邦之.
英文:	Kazuto Mizutani, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Edward Y. Chang, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)

巻, 号, ページ

Vol. 61 No. 2

出版年月

2022年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: